2019 г.

Исследование возможности получения структур с нанометровыми толщинами слоев и резкими границами раздела между ними с помощью процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого осаждения

Автор(ы): Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Трифонов А.Ю., А. С. Мысливец, П. А. Розель
Опубликовано: Российские нанотехнологии 2019. – Том 14, № 5-6. – С. 50-55.
DOI: 10.21517/1992-7223-2019-5-6-50-55
Статус: ВАК, РИНЦ