Киреев В.Ю.

Ведущий инженер (НИЛ "Исследование изделий" (ИИ))

Ученая степень: доктор технических наук

---

Киреев В.Ю. является известным ученым и специалистом в области разработки новых технологических процессов и оборудования для ионной и плазменной обработки материалов полупроводниковой электроники. Им разработаны многочисленные технологические процессы вакуумно-плазменного травления и осаждения различных функциональных слоев, используемых в интегральных микросхемах (ИМС) и микроэлектромеханических системах (МЭМС). Он является автором теории процессов плазмохимического травления, методик расчета и отработки технологических характеристик операций и параметров устройств плазмохимического и ионного травления и распыления, исследований механизмов плазменного, радикального, газового и ионного травления материалов. В последнее десятилетие он успешно занимается исследованиями фундаментальных основ физики и нанотехнологий, на основе которых им предложены и экспериментально реализованы ряд процессов получения материалов и структур с уникальными физико-химическими свойствами.

---

Статьи

1. Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев, 2020 г.

   Наноструктуры Математическая физика и моделирование. – 2020. – № 20(2). – 23-40.

2. Investigation of Gallium Nitride Island Films on Sapphire Substrates via Scanning Electron Microscopy and Spectral Ellipsometry, 2019 г.

   Nanotechnologies in Russia 2019. – V. 14, Nos. 3-4. – P. 176-183.

3. Research of the Possibility to Obtain Structures with Nanometer Layer Thicknesses and Sharp-Cut Interfaces between them Using Ion-Beam and Reactive Ion-Beam Deposition Processes, 2019 г.

   Nanotechnologies in Russia 2019. – V. 14, Nos. 5-6. – P. 234-239.

4. The Effect of Ion Beam Etching on Mechanical Strength Multilayer Aluminum Membranes., 2019 г.

   Proceedings of the 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2019. – 2019. – С. 1990-1994

5. Исследование возможности получения структур с нанометровыми толщинами слоев и резкими границами раздела между ними с помощью процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого осаждения, 2019 г.

   Российские нанотехнологии 2019. – Том 14, № 5-6. – С. 50-55.

6. Исследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии, 2019 г.

   Российские нанотехнологии 2019. – Том 14, № 3-4. – С. 93-100

7. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

   ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

8. Investigation of the Concept of a Miniature X-ray Source Based on Nanoscale Vacuum Field-emission Triode Controlled by Cut-off Grid Voltage, 2018 г.

   2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

9. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

   2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

10. Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition, 2018 г.

    Nanotechnologies in Russia. – 2018. – Т. 13, № 9-10. – С. 502-507

11. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

    "Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.

12. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

13. Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II. – 2017. – Р. 508–511

14. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

15. Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533