Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Исследование изделий" (ИИ)
Киреев В.Ю.
Ведущий инженер (НИЛ "Исследование изделий" (ИИ))
Ученая степень: доктор технических наук

С 1999 г - старший научный сотрудник отдела перспективных исследований, с 2000 по 2004 годы начальник сектора разработки технологических операций отдела разработки технологических процессов, с 2005 по 2007 гг. ведущий научный сотрудник отдела разработки высокопроизводительных систем и информационной безопасности в Научно-исследовательском институте системных исследований РАН.
С 2007 по 2010 гг. начальник лаборатории во ФГУП «Центрального научно-исследовательского института химии и механики». С 2010 по 2011 гг. ведущий научный сотрудник по технологии ООО «Термиона». С 2011 по 2012 гг. зам. директора департамента научных исследований и перспективных разработок компании ООО «ЭСТО-Вакуум». С 2012 по 2014 гг. начальник отдела системных исследований компании ООО «Перспективные плазменные технологии». С 2014 по 2015 гг. советник по науке директора ФГУП «Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина». С мая 2016 года по настоящее время ведущий инженер НТЦ «Нано и микросистемная техника» ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ, с мая 2018 года – профессор кафедры ПКИМС НИУ «МИЭТ».
Статьи
- Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.
ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород
- Investigation of the Concept of a Miniature X-ray Source Based on Nanoscale Vacuum Field-emission Triode Controlled by Cut-off Grid Voltage, 2018 г.
2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия
- Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.
2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия
- Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.
"Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.
- Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.
Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия
- Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.
Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II. – 2017. – Р. 508–511
- Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.
Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425
- Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.
Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533