ЦКП НА ФОРУМЕ «МИКРОЭЛЕКТРОНИКА 2020»

Данное мероприятие посвящено комплексному анализу актуальных вопросов разработки, производства и применения отечественной электронной компонентной базы и высокоинтегрированных электронных модулей, содействию развитию отечественной микроэлектроники, представлению имеющихся разработок и технологий.

На 6-ой Международной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» (проводившейся в рамках Форума), директор ЦКП «МСТ и ЭКБ» Дюжев Николай Алексеевич выступал в качестве модератора секции № 8 «Микросистемы. Сенсоры и актюаторы», посвященной исследованиям, разработкам и технологиям изготовления изделий микросистемной техники, микросборок и микроэлектронных модулей уровня «система в корпусе».

По результатам работ с использованием оборудования ЦКП были представлены следующие доклады:

1. Моделирование МЭМС-элемента приемника ИК-излучения на основе системы переключаемых термопар (Дёмин Г.Д.).

2. Тепловой МЭМС-датчик для измерения субатмосферного диапазона давлений (Евсиков И.Д.).

3. Роботизированная перчатка на основе системы магниторезистивных сенсоров для нейрореабилитации пациентов после инсульта (Глаголев П.Ю.).

4. Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС структур (Гусев Е.Э.).

5. Расчет параметров электростатического управления торсионным микрозеркалом на базе тонкопленочной мембранной структуры (Белова С.Д.)

6. Тепловой МЭМС-сенсор потока для компактного газового хроматографа (Дюжев Н.А.)

7. Разработка и интеграция газоанализаторов в информационные системы экологического мониторинга (Чиненков М.Ю.)