Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Исследование изделий" (ИИ)
Глаголев П.Ю.
Инженер (НИЛ "Исследование изделий" (ИИ))
Статьи
- Analysis of Electron Emission from a Single Silicon Cathode to Quasi-Vacuum (Air) Using Atomic Force Microscopy, 2020 г.
Technical Physics 2020, Vol. 65, No. 11, Р. 1846-1852
- Circuit Models of Field Emission Silicon Diode and Transistor with a Nanoscale Vacuum Channel, 2020 г.
33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2020. – 2020. – P. 9203217
- Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2020 г.
2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS), 2020
- Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections, 2020 г.
IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2288-2292.
- Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography, 2020 г.
Technical Physics – 2020. – Vol. 65., No. 11 – P. 1709-1716
- Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии, 2020 г.
Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, вып. 11. – С. 1931-1937
- Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии, 2020 г.
Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.853-854.
- Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии, 2020 г.
Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, Вып. 11. – С. 1789-1796
- Роботизированная перчатка на основе системы магниторезистивных сенсоров для нейрореабилитации пациентов после инсульта, 2020 г.
Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 521-522
- Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters, 2019 г.
American Vacuum Society Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 022903 (2019); doi: 10.1116/1.5068688
- Development of Technological Principles for Creating a System of Microfocus X-Ray Tubes Based on Silicon Field Emission Nanocathodes, 2019 г.
Technical Physics 2019. – Vol. 64, No. 12. – P. 1742–1748.
- Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X ray radiation for the maskless X ray lithography, 2019 г.
PowerMEMS 2019.Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 20515806524
- Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-Ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2019 г.
19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 20515806524 (стендовый доклад)
- ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ДВУХСЛОЙНЫХ МЕМБРАН SIO2/SI3N4 , 2019 г.
Наноиндустрия 2019. – № S (89) – С. 511-514.
- Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии, 2019 г.
Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460
- Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, 2019 г.
Журнал технической физики 2019. – Том 89. – вып. 12 – С. 1836-1842.
- Усиление термоэлектрических свойств тонкой нанопленки поликристаллического кремния посредством подстройки размера зерна для энергосберегающих применений, 2019 г.
Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 401-403.
- An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.
IVNC 2018
- Peculiarities of the Influence of Nanostructuring of [SiO2/Si3N4]n Multilayer Membranes on Its Thermal and Mechanical Properties, 2018 г.
2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus Россия
- Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.
IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.
- Исследование поведения магниторезистивных структур на диэлектрической мембране, 2017 г.
Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 183-184.
- Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.
Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58
- Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.
Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533