Орешкин Г.И.

Ведущий инженер (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))

Ученая степень: кандидат физико-математических наук

Статьи

1. Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography, 2020 г.

   Technical Physics – 2020. – Vol. 65., No. 11 – P. 1709-1716

2. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии, 2020 г.

   Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.853-854.

3. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии, 2020 г.

   Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, Вып. 11. – С. 1789-1796

4. Расчет параметров электростатического управления торсионным микрозеркалом на базе тонкопленочной мембранной структуры, 2020 г.

   Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 498-499

5. Тепловой МЭМС-датчик для измерения субатмосферного диапазона давлений, 2020 г.

   Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 500-502

6. Enhancement of thermoelectric properties of a poly-Si thin nanofilm by grain size engineering for energy harvesting applications, 2019 г.

   5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book _