2017 г.
Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур
Автор(ы): Дюжев Н. А., Гусев Е.Э., Новиков Д.В.
Опубликовано: Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.
Импакт-фактор: 0,274
Статус: ВАК
