2017 г.

Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope

Автор(ы): Дюжев Н. А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Patiukov N.
Опубликовано: Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428
DOI: 10.1117/12.2250118
Импакт-фактор: 0.37
Статус: Scopus