2017 г.

Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин

Автор(ы): Дюжев Н. А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А.
Опубликовано: Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.
DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.538.541
Импакт-фактор: 0,419
Статус: РИНЦ