2017 г.

Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния

Автор(ы): Дюжев Н. А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Ковалёв А.С., Онуфриенко А.П.
Опубликовано: Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337
DOI: 10.17587/nmst.19.331-337
Импакт-фактор: 0,327
Статус: ВАК