2018 г.

Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения

Автор(ы): Дюжев Н. А., Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Клементе И.Э., Мяконьких А.В., Руденко К.В.
Опубликовано: Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия
Статус: Scopus, ВАК, РИНЦ