2018 г.

Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition

Автор(ы): Дюжев Н. А., Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Мяконьких А.В., Клементе И.Е., Руденко К.В.
Опубликовано: ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород