2018 г.

Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition

Автор(ы): Дюжев Н. А., Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Клементе И.Е., Мяконьких А.В., Руденко К.В.
Опубликовано: Nanotechnologies in Russia. – 2018. – Т. 13, № 9-10. – С. 502-507
DOI: 10.1134/S199507801805004X
Статус: Scopus, Web of Science, ВАК, РИНЦ