Усиление термоэлектрических свойств тонкой нанопленки поликристаллического кремния посредством подстройки размера зерна для энергосберегающих применений
Автор(ы): Дюжев Н. А., Глаголев П.Ю., Новиков Д.В., Белова С. Д.
Опубликовано: Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 401-403. Статус: -