2019 г.

Automation of the Measurement Process of the Parameters of the Sensitive Elements of the Gas Flow Rate Sensors

Автор(ы): Дюжев Н. А., Новиков Д.В., Рябов В.Т.
Опубликовано: Russian Microelectronics 2019. – Vol. 48, No. 7. – Р. 490-495.
DOI: 10.1134/S1063739719070126
Статус: Scopus, Web of Science