2019 г.

Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-Ray radiation for the maskless X-ray lithography

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Колосько А.Г., Попов Е.О.
Опубликовано: 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 20515806524 (стендовый доклад)
DOI: 10.1109/PowerMEMS49317.2019.20515806524
Статус: РИНЦ