2019 г.

Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometers.

Автор(ы): Дюжев Н. А., Белин А.М., Демин Г.Д., Новиков Д.В., Новиков Е.В., Оводов А.И., Лапшин Р.В.
Опубликовано: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. – 2019. – Vol. 11022. – P. 110220R
Ссылка: https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie on 03 Apr 2019
DOI: 10.1117/12.2522515
Статус: Scopus, Web of Science, РИНЦ