2019 г.

Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X ray radiation for the maskless X ray lithography

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Н.И.Чхало, Н.Н.Салашенко, А.Г.Колоско, Е.О.Попов
Опубликовано: PowerMEMS 2019.Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 20515806524
DOI: 10.1109/PowerMEMS49317.2019.20515806524
Статус: -