2020 г.

Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography

Автор(ы): Дюжев Н. А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Чхало Н.И.
Опубликовано: Technical Physics – 2020. – Vol. 65., No. 11 – P. 1709-1716
DOI: 10.1134/S1063784220110122
Статус: Scopus, Web of Science, РИНЦ

Скачать

Имя файла: ZHTF_Glagolev_ANGL.pdf
Размер файла: 1.13 MB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 16:13:38
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 1.13 MB