2020 г.

Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии

Автор(ы): Дюжев Н. А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Чхало Н.И.
Опубликовано: Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, Вып. 11. – С. 1789-1796
DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49964.137-20
Статус: ВАК, РИНЦ