2020 г.

Исследование механической прочности мембранной структуры из SiO2

Автор(ы): Гусев Е.Э., Товарнов Д.А.
Опубликовано: Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 43

Скачать

Имя файла: 01_Tovarnov.pdf
Размер файла: 1.14 MB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 18:13:44
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 1.14 MB