2019 г.

Исследование механической прочности мембранной структуры Al/SiO2/Al

Автор(ы): Дюжев Н. А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А., Белова С. Д.
Опубликовано: Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 393-396.
Статус: -