2020 г.

Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев

Автор(ы): Махиборода М.А., Дедкова А.А., Киреев В.Ю.
Опубликовано: Наноструктуры Математическая физика и моделирование. – 2020. – № 20(2). – 23-40.
DOI: 10.31145/2224-8412-2020-20--2-23-40
Статус: ВАК, РИНЦ

Скачать

Имя файла: Nanostrukturii_kontaktniiiy_profilometr.pdf
Размер файла: 4.3 MB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 19:22:57
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 4.3 MB