2020 г.

Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-ray radiation for the maskless X-ray lithography

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Kolosko A.G., Popov E.O.
Опубликовано: 2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS), 2020
DOI: 10.1109/PowerMEMS49317.2019.20515806524
Статус: Web of Science, РИНЦ

Скачать

Имя файла: Evsikov_POWERMEMS.pdf
Размер файла: 310.55 KB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 19:56:29
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 310.55 KB