2020 г.

Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур

Автор(ы): Махиборода М.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Фомичев М.Ю.
Опубликовано: Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.4s.503.505
Статус: ВАК, РИНЦ

Скачать

Имя файла: Nanoindustriya1.pdf
Размер файла: 3.3 MB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 18:19:30
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 3.3 MB