2020 г.

Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Товарнов Д.А.
Опубликовано: Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.
Статус: -