? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Оборудование

Перечень оборудования
Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонетная база»

Скачать список всего оборудования одним файлом

Выбрать:
Автомат разварки выводов 64000 G5 (FGK)
Страна: Германия
Фирма-изготовитель: (FGK) Delwoteс GmbH
Марка: 64000 G5
Год: 2005

Формирование внутренних выводов микросхемы


Автоматическое устройство разделения пластин на кристаллы
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: Disco Abrasive Systems, LTD
Марка: DAD3350
Год: 2007

Разделение полупроводниковых пластин


Атомно-силовой микроскоп SmartSPM (AIST-NT)
Страна: Россия
Фирма-изготовитель: AIST-NT
Марка: SmartSPM
Год: 2009

Диапазон сканирования 100х100х15 мкм (±10 %); высокая линейность позволяет использовать сканер для метрологических приложений; малошумящие датчики обратной связи позволяют получать разрешение, при котором различимы атомарные ступеньки; максимальный размер образца 5х5х1 см


Вакуумная печь
Страна: Германия
Фирма-изготовитель: ATV Technologie GmbH
Марка: SRO-706
Год: 2007

Обработка и подготовка поверхности корпуса микросхемы


Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр TOFSIMS-5-100 (IonTOF)
Страна: Германия
Фирма-изготовитель: IonTOF
Марка: TOFSIMS-5-100
Год: 2012

Регистрация ионов с массой от 1 до 10 000 а.е.м.; разрешение по глубине от 0.5 ?; параллельное детектирование сразу всего масс-спектра; предел обнаружения бора (В) в кремнии (Si) 1016 ат./см3; предел обнаружения фосфора (P) в кремнии (Si) 1015 ат./см3; предел обнаружения других элементов от 1015 до 1019 ат./см3; линейное разрешение 80 нм


Высоковакуумная низкотемпературная система «PlasmoScope-2M» для исследования нанорельефа, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами АСМ/СТМ/МСТ
Страна: Россия
Фирма-изготовитель: ПРОТОН-МИЭТ
Марка: PlasmoScope-2M
Год: 2015

Система позволяет проводить анализ геометрических и физических параметров топографии поверхности образцов с нанометровым пространственным разрешением на воздухе, в условиях сверхвысокого вакуума и магнитном поле при различных температурах. Точность измерения латеральных размеров до 1 нм, возможно проведения измерения АСМ и СТМ методиками, измерения проводящих и непроводящих материалов, визуализация атомарной решетки.


Двулучевая система Quanta 3D FEG
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: FEI
Марка: Quanta 3D FEG
Год: 2008

Катод Шотти с полевой эмиссией позволяет сфокусировать первичный электронный пучек не хуже чем 1,2 нм; фокусированный ионный пучок галлия (размером не более 3 нм) позволяет проводить модификацию поверхности; прибор оборудован системой локального осаждения Pt и C на поверхность, а также микроманипулятором Kleindeik nanotechnik; микроскоп оснащен режимом низкого вакуума (10-130 Па) и режимом естественной среды (до 4000 Па и 100% отн. вл), прибор оснащен детекторами обратнорассеяных электронов


Дифрактометр многофункциональный Rigaku SmartLab
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: Rigaku
Марка: SmartLab
Год: 2014

Качественный и количественный фазовый анализ слоев в тонкопленочных структурах и дисперсных системах. Определение межплоскостных расстояний в кристаллических пленках в диапазоне линейных размеров от 0,004 до 10,000 нм. Определяемая массовая доля отдельной фазы 0,1-100,0%;
определение микро- и макронапряжений в тонкопленочных структурах. Модуль определяемых трехосных напряжений 0-400,0 МПа. Определение профиля деформации в многослойных тонкопленочных структурах с пространственным разрешением 10 нм;"
определение преимущественной ориентации кристаллитов в тонких пленках в многослойных структурах.


Зондовая установка для анализа пластин и подложек до 150 мм
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: Cascade Microtech
Марка: PM5 Probe System
Год: 2010

Зондовая установка, оборудованная 6 зондами для измерения электрических параметров на приборах пластинах размером до 150 мм. Оснащена лазером для подгонки образцов.


Зондовая установка для тестирования микросистем в составе пластин UF200A TOKYO
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: TOKYO SEIMITSU CO., LTD
Марка: UF200A
Год: 2007

Установка тестирования микросхем в составе пластин


Камера климатическая программируемая 
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: Espeс
Марка: MC-811P
Год: 2007

Испытание микросхем  термоциклами


Комплекс для измерения и контроля параметров высокочастотных интегральных микросхем и устройств
Страна: Белоруссия
Фирма-изготовитель: ДМТ-Электроникс
Марка: ДМТ-518
Год: 2010

Для измерения и контроля параметров высокочастотных интегральных микросхем и устройств


Комплекс измерительный параметров аналоговых микросхем и устройств
Страна: Белоруссия
Фирма-изготовитель: ДМТ-Электроникс
Марка: ДМТ-219
Год: 2010

Измерение параметров аналоговых микросхем и устройств


Лазерный конфокальный микроскоп VL 2000 DХ (Lasertech)
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: Lasertech
Марка: VL 2000 DХ
Год: 2008

Наблюдение и измерение топографии поверхности различных образцов в микронном масштабе. Позволяет получать 3D изображение поверхности образца.


Линия герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки с вакуумной печью и возможностью корпусирования в гелиевой среде 
Страна: Великобритания
Фирма-изготовитель: Pyramid Engineering Systems Ltd.
Марка: HPS 9206М
Год: 2007

Герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки


Микроскоп сканирующий "Микро 2001-01" (КБТЭМ-СО)
Страна: Белоруссия
Фирма-изготовитель: "УП "КБТЭМ-СО""
Марка: Микро 2001-01
Год: 2009

Визуальный контроль


Микроскоп сканирующий INM 100
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: KLA-Tencor
Марка: INM100
Год: 2007

Визуальный контроль


Оже-микрозонд PHI-670xi (Physical Electronics)
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: Physical Electronics
Марка: PHI-670xi
Год: 2012

Вакуум в камере менее 6.7х10-8 Па; разрешение при получении изображения в оже-электронах менее 8 нм при 1 нА 20 кВ; отношения сигнала к шуму при оже анализе 700:1 при 10 нА 10 кВ; разрешение по энергии менее 0.5%; максимальный ток и плотность тока ионной пушки более 5 мкА при 5 кВ и более 3 мА/см2 при 5 кВ


Оптический микроскоп VL2000D высокого разрешения
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: KLA-Tencor
Марка: VL2000D
Год: 2007

Визуальный контроль


Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: KLA-Tencor
Марка: lNM100/DFC290
Год: 2007

Визуальный контроль


Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: KLA-Tencor
Марка: lNM100/DFC290
Год: 2007

Визуальный контроль


Оптический профилометр
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: Veeco Wyko
Марка: NT 9300
Год: 2010


Полуавтоматическая зондовая установка
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: Cascade Microtech
Марка: Summit 12K
Год: 2011

Полуавтоматическиая зондовая система серии Summit с технологиями PureLine ™ и AttoGuard® позволят проводить исследования полным спектром измерительных приборов для пластин до 200 мм


Программно-аппаратный комплекс для проведения процессов с фотошаблонами размером 7 дюймов
Страна: Германия
Фирма-изготовитель: Vistec
Марка: 7012
Год: 2011

Позволяет формировать интегральные схемы на фотошаблонах размером 7 дюймов, используемых для контактной литографии


Профилометр Alpha-Step D120
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: KLA-Tencor
Марка: Alpha-Step D120
Год: 2005

Разрешение по вертикали 0.5 нм; длина получаемого изображения 55 мм; диапазон перемещения по вертикали до 1.2 мм; предметный столик (диаметр 200 мм) с сервоприводами для установки образца; диапазон перемещения предметного столика 150х178 мм


Проходная камера CK-581 (Multitest Elektronische System)
Страна: Германия
Фирма-изготовитель: Multitest Elektronische System GmbH
Марка: CK-581
Год: 2010

Задание температурных режимов при проведении операций функционального и параметрического контроля микросхем


Растровый электронный микроскоп JSM-6490LV
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: JEOL
Марка: JSM-6490LV
Год: 2008

Термокатод позволяет сфокусировать первичный электронный пучек не хуже чем 12 нм; максимальный размер образца 150х150х10 м


Рентгеноскопическая цифровая система контроля микросхем с функцией томографии 
Страна: Великобритания
Фирма-изготовитель: DAGE Precision Industries Ltd.
Марка: XD7600NT
Год: 2007

Рентгеноскопический  цифровой  контроль микросхем с функцией  томографии


Система бесконтактного измерения температуры и теплового анализа SC5700 M (FLIR System)
Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: FLIR System
Марка: SC5700 M
Год: 2010


Система для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа 
Страна: Германия
Фирма-изготовитель: Xenos
Марка: XeDraw 2
Год: 2010

Проведение электронной литографии