Дедкова А.А.

Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)

Статьи

1. Contact Resistance Measurements for the Ge2Sb2Te5 thin films, 2020 г.

   Chalcogenide Letters 2020. – V. 17, No. 1. – P. 1-8.

2. Experimental Determination of mechanical Properties of the Anode Cell of an X-Ray Lithograph, 2020 г.

   Technical Physics – 2020. – Vol. 65, No. 11. – P. 1755–1759

3. Fast Nondestructive Technique for Analyzing Deflection of Membranes Located on the Substrate, 2020 г.

   Russian Journal of Nondestructive Testing – 2020. – Vol. 56, No. 5. – P. 452–459.

4. Influence of the Degree of Crystallinity on the Dispersion of the Optical Parameters of Ge2Sb2Te5 Phase-Change Memory Thin Films, 2020 г.

   Semiconductors – 2020. – Vol. 54, No. 13. – P. 1775–1783

5. Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al, 2020 г.

   IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2299-2302.

6. Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections, 2020 г.

   IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2288-2292.

7. Prospects of Electromagnetic Energy Harvesting In a Combined Structure of Broadband Metamaterial Absorber With a Magnetic Tunnel Junction Having Tunnel Magneto-Seebeck Effect, 2020 г.

   2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS) 2020

8. Анализ рельефа кремниевых пластин методами геоморфометрии / Analysis of topography of silicon wafers by geomorphometric methods, 2020 г.

   Интеллектуализация обработки информации: Тезисы докладов 13-й Международной конференции, г. Москва, 2020, М.: Российская академия наук, 2020 – 2020. – С. 244-245.

9. Влияние степени кристалличности на дисперсию оптических параметров тонких пленок фазовой памяти Ge2Sb2Te5, 2020 г.

   Изв. вузов. Электроника – 2020. – Т. 25. № 3. – С. 203–218.

10. Влияние технологических параметров процесса атомно-слоевой эпитаксии на однородность толщины зародышевых слоев GaN / Influence of Technological Parameters of the Atomic-Layer Epitaxy Process on the Un, 2020 г.

    Известия вузов. Электроника – 2020. – Т. 25. № 3. – С. 277–281.

11. Влияния термообработки на оптические свойства тонких пленок Ge2Sb2Te5 для многоуровневых устройств нанофотоники, 2020 г.

    XVIII Всероссийский молодежный Самарский конкурс-конференция научных работ по оптике и лазерной физике: сборник трудов конференции, (Самара, 10–14 ноября 2020 г.). – Москва: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт и – 2020. – С. 212-218.

12. Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев, 2020 г.

    Наноструктуры Математическая физика и моделирование. – 2020. – № 20(2). – 23-40.

13. Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине, 2020 г.

    Дефектоскопия – 2020. – №. 5. – С. 52–59.

14. Применение оптической микроскопии для качественного и количественного анализа поверхности твердых тел , 2020 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2020. – № 20(2). – 41-64.

15. Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур, 2020 г.

    Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.

16. Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

    Журнал технической физики –2020. – Tом 90, вып. 11. – C. 1838-1842.

17. Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.

18. Investigation of Gallium Nitride Island Films on Sapphire Substrates via Scanning Electron Microscopy and Spectral Ellipsometry, 2019 г.

    Nanotechnologies in Russia 2019. – V. 14, Nos. 3-4. – P. 176-183.

19. Prospects of Electromagnetic Energy Harvesting In a Combined Structure of Broadband Metamaterial Absorber With a Magnetic Tunnel Junction Having Tunnel Magneto Seebeck Effect, 2019 г.

    PowerMEMS 2019. Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 61547409666

20. Research of the Possibility to Obtain Structures with Nanometer Layer Thicknesses and Sharp-Cut Interfaces between them Using Ion-Beam and Reactive Ion-Beam Deposition Processes, 2019 г.

    Nanotechnologies in Russia 2019. – V. 14, Nos. 5-6. – P. 234-239.

21. Stimulated Raman Scattering in Metal-Dielectric Nanocomposites with Spectrally Degenerate Dielectric Constant, 2019 г.

    JETP Letters 2019. – V. 110, No. 12.– Р. 766-770.

22. The Effect of Ion Beam Etching on Mechanical Strength Multilayer Aluminum Membranes., 2019 г.

    Proceedings of the 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2019. – 2019. – С. 1990-1994

23. Вынужденное комбинационное рассеяние света в нанокомпозитах металл–диэлектрик со спектрально вырожденной диэлектрической проницаемостью, 2019 г.

    Письма в ЖЭТФ Том 110, вып. 12. – С. 772-776.

24. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ДВУХСЛОЙНЫХ МЕМБРАН SIO2/SI3N4 , 2019 г.

    Наноиндустрия  2019.  – № S (89) – С. 511-514.

25. ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК Ge2Sb2Te5 ДЛЯ МНОГОУРОВНЕВЫХ УСТРОЙСТВ НАНОФОТОНИКИ, 2019 г.

    21 Всероссийская молодежная конференция «Физика полупроводников и наноструктур, полупроводниковая опто- и наноэлектроника». Тезисы докладов 2019. – С. 25.

26. Исследование возможности получения структур с нанометровыми толщинами слоев и резкими границами раздела между ними с помощью процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого осаждения, 2019 г.

    Российские нанотехнологии 2019. – Том 14, № 5-6. – С. 50-55.

27. Исследование механической прочности мембранной структуры Al/SiO2/Al, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 393-396.

28. Исследование прочностных характеристик мембранных элементов прострельного рентгеновского источника, 2019 г.

    Микроэлектроника и информатика - 2019 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов стр. 37

29. Исследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии, 2019 г.

    Российские нанотехнологии 2019. – Том 14, № 3-4. – С. 93-100

30. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

31. Dependence of Mechanical Stresses in Silicon Nitride Films on the Mode of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

    Semiconductors. – 2018 Vol. 52, Is. 15. – P. 1953-1957

32. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

33. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

34. Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition, 2018 г.

    Nanotechnologies in Russia. – 2018. – Т. 13, № 9-10. – С. 502-507

35. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

    "Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.

36. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

37. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

38. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

39. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

40. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

41. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.

42. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

43. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

44. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425