Дюжев Н. А.

Директор ЦКП МСТиЭКБ (Дирекция ЦКП)

Ученая степень: кандидат физико-математических наук

---

Дюжев Николай Алексеевич родился в 1951 году. 

1975 год – Выпускник МИЭТа.

1986 год – Аспирантура МФТИ. Кандидат физико-математических наук.

С 1975 по 2010 г.г. – Инженер, главный технолог, начальник отдела ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»

С 2010 г. – Директор Научно-технологического центра «Нано- и микросистемной техники» (НТЦ НМСТ)

С 2016 г. – Директор Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база (ЦКП МСТ и ЭКБ).

Круг научных интересов Николая Алексеевича Дюжева включает фундаментальные исследования и прикладные разработки в сфере 

нано- и микросистемной техники и нановакуумной наноэлектроники.

Автор более 100 научно-технических публикаций, кандидат физико-математических наук.

Имеет большой опыт в проведении как НИР фундаментального характера, так и крупных 

ОКР по организации производства инновационной продукции. 

В случае заинтересованности в проведении исследований, в том числе совместных работ, 

Вы можете связаться с руководителем ЦКП "МСТ и ЭКБ".

Зеленоград, Директор ЦКП "МСТ и ЭКБ" Дюжев Н.А.

8 (499) 720-69-08           

---

Статьи

1. A Study of Field Electron Emission in a Nanoscale Air-Channel Silicon Diode, 2020 г.

   33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2020, P. 9203201

2. Analysis of Electron Emission from a Single Silicon Cathode to Quasi-Vacuum (Air) Using Atomic Force Microscopy, 2020 г.

   Technical Physics 2020, Vol. 65, No. 11, Р. 1846-1852

3. Circuit Models of Field Emission Silicon Diode and Transistor with a Nanoscale Vacuum Channel, 2020 г.

   33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2020. – 2020. – P. 9203217

4. Development of a Technology for the Creating of Diode and Triode Field-Emission Nanostructures for Signal Generating in the GHz Range, 2020 г.

   2020 7th All-Russian Microwave Conference (RMC) – 2020. – P. 101-104.

5. Experimental Determination of mechanical Properties of the Anode Cell of an X-Ray Lithograph, 2020 г.

   Technical Physics – 2020. – Vol. 65, No. 11. – P. 1755–1759

6. Fast Nondestructive Technique for Analyzing Deflection of Membranes Located on the Substrate, 2020 г.

   Russian Journal of Nondestructive Testing – 2020. – Vol. 56, No. 5. – P. 452–459.

7. Features of evaluating properties of field emitters using effective parameters, 2020 г.

   2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS) 2020

8. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2020 г.

   2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS), 2020

9. Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al, 2020 г.

   IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2299-2302.

10. Modeling the Electromechanical Properties of the MEMS Element of a Thermoelectric Infrared Sensor Based on the Dynamic Seebeck Effect, 2020 г.

    International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM – 2020. – Vol. 9153484. – P. 298-303

11. Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography, 2020 г.

    Technical Physics – 2020. – Vol. 65., No. 11 – P. 1709-1716

12. Prospects of Electromagnetic Energy Harvesting In a Combined Structure of Broadband Metamaterial Absorber With a Magnetic Tunnel Junction Having Tunnel Magneto-Seebeck Effect, 2020 г.

    2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS) 2020

13. SPICE-модель электронной системы матричного источника рентгеновского излучения, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.863-864.

14. Spin-torque diode with metamaterial-based absorbing coating for the efficient waste heat energy harvesting from microwave radiation, 2020 г.

    2020 7th All-Russian Microwave Conference (RMC) – 2020. – P. 31-35.

15. Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии, 2020 г.

    Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, вып. 11. – С. 1931-1937

16. Исследование временной деградации кремниевых наноструктур в процессе автоэлектронной эмиссии на основе in-situ методики РЭМ измерений, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.879-880.

17. Концепция спинтронного мемристора на базе системы взаимосвязанных спин-орбитальных гетероструктур с управляемым количеством промежуточных резистивных состояний, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 1. – С.185-186.

18. Мембранные технологии микроэлектроники: возможности, ограничения, области применения и направления развития, 2020 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование - 2020, № 21(2), 05–32

19. Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине, 2020 г.

    Дефектоскопия – 2020. – №. 5. – С. 52–59.

20. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.853-854.

21. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии, 2020 г.

    Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, Вып. 11. – С. 1789-1796

22. Разработка и интеграция газоанализаторов в информационные системы экологического мониторинга, 2020 г.

    Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 139-140

23. Разработка технологии создания диодных и триодных автоэмиссионных наноструктур для генерации сигналов ГГц диапазона, 2020 г.

    Сборник трудов VII Всероссийской микроволновой конференции – 2020. – С. 124-128.

24. Спинтронный преобразователь электромагнитного излучения микроволнового диапазона частот с поглощающим нанопокрытием на базе метаматериала, 2020 г.

    Сборник трудов VII Всероссийской микроволновой конференции – 2020. – С. 42-46.

25. Тепловой МЭМС-датчик для измерения субатмосферного диапазона давлений, 2020 г.

    Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 500-502

26. Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

    Журнал технической физики –2020. – Tом 90, вып. 11. – C. 1838-1842.

27. Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.

28. A metamaterial based on titanium nitride nanoantennas for efficient absorption of solar energy in flexible solar cells combined with thermoelectric generator, 2019 г.

    5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book _

29. Atomic force microscopy study of field emission from a single silicon nanotip into a quasi-vacuum (air) medium at the nanoscale, 2019 г.

    5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book _

30. Automation of the Measurement Process of the Parameters of the Sensitive Elements of the Gas Flow Rate Sensors, 2019 г.

    Russian Microelectronics 2019. – Vol. 48, No. 7. – Р. 490-495.

31. Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters, 2019 г.

    American Vacuum Society Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 022903 (2019); doi: 10.1116/1.5068688

32. Development of Technological Principles for Creating a System of Microfocus X-Ray Tubes Based on Silicon Field Emission Nanocathodes, 2019 г.

    Technical Physics 2019. – Vol. 64, No. 12. – P. 1742–1748.

33. Development of a spintronic vision based on spin-torque diodes and its optimization for autonomous driving tasks, 2019 г.

    Development of a spintronic vision based on spin-torque diodes and its optimization for autonomous driving tasks Las Vegas, Nevada, USA, Abstracts, p. 549 (стендовый доклад)

34. Enhancement of thermoelectric properties of a poly-Si thin nanofilm by grain size engineering for energy harvesting applications, 2019 г.

    5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book _

35. Features of evaluating properties of field emitters using effective parameters, 2019 г.

    PowerMEMS 2019. Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 82063205204

36. Features of evaluating properties of field emitters using effective parameters, 2019 г.

    19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 82063205204 (стендовый доклад)

37. Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometers., 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. – 2019. – Vol. 11022. – P. 110220R

38. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X ray radiation for the maskless X ray lithography, 2019 г.

    PowerMEMS 2019.Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 20515806524

39. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-Ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2019 г.

    19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 20515806524 (стендовый доклад)

40. INFLUENCE OF THE MAGNETORESISTIVE ELEMENTS TOPOLOGY ON THE MAGNETIC MEMS FUNCTIONAL CHARACTERISTICS, 2019 г.

    VII Euro-Asian Symposium «Trends in MAGnetism» 2019. – P. 86-87.

41. Investigation of the emission properties of a silicon blade-type cathode, 2019 г.

    Journal of Physics: Conference Series 2019. – V. 1400, Is. 5. – P. 055011

42. Magnetoelectric control of the microwave sensitivity of a spin-torque diode based on the magnetic tunnel junction with a ferromagnetic/ferroelectric bilayer by short THz electromagnetic pulse, 2019 г.

    64th Annual Conference on Magnetism and Magnetic Materials (MMM-2019), November 04-08 2019 Las Vegas, Nevada, USA, Abstracts, pp. 549-550 (стендовый доклад)

43. Maskless nanolithography on the basis of microfocus x-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018". – 2019. – Р. 110221M

44. Microwave Energy Harvester Based on the Magneto-Tunnel Seebeck Effect in the Nanoscale Spin-Torque Diode, 2019 г.

    2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS)

45. Optimized Design of the MEMS-Based Three-Axis Thermal Accelerometer for Its Better Performance in a Wide Measurement Range, 2019 г.

    2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS)

46. Prospects of Electromagnetic Energy Harvesting In a Combined Structure of Broadband Metamaterial Absorber With a Magnetic Tunnel Junction Having Tunnel Magneto Seebeck Effect, 2019 г.

    PowerMEMS 2019. Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 61547409666

47. TCAD-based perfomance analysis of nanoscale vacuum field-emission transistors at advanced technology nodes., 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018". – 2019. – С. 110220O

48. Использование метаматериала Ti и TiON для эффективного поглощения солнечной энергии в гибких солнечных элементах, комбинированных с термоэлектрическим преобразователем, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 399-401.

49. Исследование механической прочности мембранной структуры Al/SiO2/Al, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 393-396.

50. Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460

51. Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, 2019 г.

    Журнал технической физики 2019. – Том 89. – вып. 12 – С. 1836-1842.

52. Современное состояние элементной базы вакуумной наноэлектроники, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 461-462

53. Усиление термоэлектрических свойств тонкой нанопленки поликристаллического кремния посредством подстройки размера зерна для энергосберегающих применений, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 401-403.

54. Эффективность генерации характеристического излучения Be-содержащих мишеней., 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 445-446

55. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

56. Magnetometric MEMS manufacture based on magnetoresistive nanostructures, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

57. Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

58. TCAD-based performance analysys of nanoscale vacuum field-emiccion transistors at advanced technology nodes, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

59. An experimental study on MEMS-based gas flow sensor for wide range flow measurements, 2018 г.

    IEEE USA

60. An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.

    IVNC 2018

61. Combined Ultramicrotomy and Atomic Force Microscopy Study of the Structure of a Bulk Heterojunction in Polymer Solar Cells, 2018 г.

    Semiconductors – 2018. – Vol. 52 – No. 1 – P. 105– 111. Россия

62. Effects of average grain size on the magnetic properties of permalloy films, 2018 г.

    EPJ Web of Conferences USA

63. Electron Energy Conversion to EUV Radiation in the Kα Line of Be in the "Shooting Through" Geometry, 2018 г.

    Journal of Experimental and Theoretical Physics, 2018, Vol. 127, No. 6, pp. 985–993

64. Investigation of the Concept of a Miniature X-ray Source Based on Nanoscale Vacuum Field-emission Triode Controlled by Cut-off Grid Voltage, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

65. Magnetic Field MEMS-Sensor: Functional Characteristics Control during the Formation of Magnetosensitive Structures, 2018 г.

    Defect and Diffusion Forum. – 2018. – Vol. 386. – Р. 161-166

66. Maskless X-Ray Lithography Based on Microoptical Electromechanical Systems and Microfocus X-Ray Tubes, 2018 г.

    Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. – 2018. – Т. 12, № 5. – С. 944-952

67. Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.

    IEEE USA

68. Microfocus X-Ray Tubes with a Silicon Autoemission Nanocathode as an XRay Source, 2018 г.

    Bulletin of the Lebedev Physics Institute Россия

69. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

70. Peculiarities of the Influence of Nanostructuring of [SiO2/Si3N4]n Multilayer Membranes on Its Thermal and Mechanical Properties, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus Россия

71. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

72. Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition, 2018 г.

    Nanotechnologies in Russia. – 2018. – Т. 13, № 9-10. – С. 502-507

73. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

74. Конверсия энергии электронов в ЭУФ-излучение Kα-линии Be в «прострельной» геометрии, 2018 г.

    Journal of Experimental and Theoretical Physics Россия

75. Anisotropic Magnetoresistive Transducers on the Basis of a Self-Aligned Structure , 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – P. 343–345.

76. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

77. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

78. Effects of average grain size on the magnetic properties of permalloy films, 2017 г.

    Moscow International Symposium on Magnetism MISM-2017 – M. 2017. – P. 141

79. Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II. – 2017. – Р. 508–511

80. Formation of Nanosized Coatings in Hybrid Plasma Reactor Combining Magnetron or Arc Deposition with RF Plasma Assistance, 2017 г.

    Materials Science Forum – 2017. – Vol. 900. – P. 137– 140

81. Magnetoresistive sensor with high sensitivity: self-aligned magnetic structures, 2017 г.

    IEEE International Magnetics Conference INTERMAG-2017 ( Book of abstracts, HP-08) – Dublin, Ireland, 2017.

82. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

83. Technological Features Influence on Magnetic Sensitivity of Sensor Based on Ferromagnetic Structures , 2017 г.

    Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics – 2017. – 10 (2) – P. 181–185.

84. The Characteristics of Observation of the Non-uniform Magnetization on the Surface of the Thin Magnetic Films in Ta/CoFeB/MgO/CoFeB/Ta Multilayers, 2017 г.

    Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics – 2017 – 10 (1) – P. 40–44.

85. Анизотропные магниторезистивные преобразователи на основе самосовмещенной структуры, 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 3. – С. 70–72

86. Вакуумный МЭМС триод с кремниевым лезвийным автоэмиссионным катодом, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектрони ка-2017» – М.: Техносфера, 2017.– С. 439-443

87. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

88. Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

89. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.

90. Исследование поведения магниторезистивных структур на диэлектрической мембране, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 183-184.

91. Исследование структуры объемного гетероперехода в полимерных солнечных элементах с помощью комбинации ультрамикротомирования и атомно-силовой микроскопии, 2017 г.

    Физика и техника полупроводников – 2018. – Т. 52. – Вып. 1. – С. 110–117.

92. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

93. Рентгеновский источник с прострельной мишенью и перестраиваемой длиной волны, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 391-392.

94. Рентгеновский источник, изготовленный по МЭМС технологии, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 572–574

95. Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С.552–553.

96. Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.

97. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58

98. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

99. Development and Research of Multifrequency X-ray Tube with a Field Nanocathode, 2017 г.

    Proceedings of the Scientific-Practical Conference “Research and Development - 2016” – Springer, Cham, 2017. – Р. 421–427.

100. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

     Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425